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全自動(dòng)激光開(kāi)槽/全切設(shè)備

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更新時(shí)間:2022-07-08 15:06:08瀏覽次數(shù):1006

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

設(shè)備型號(hào):Laser Grooving LFL-AB1200應(yīng)用范圍:Lowk晶圓,GaN晶圓,非lowk晶圓

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品介紹

隨著芯片集成度的不斷提高,線寬越做越小,Rc時(shí)延、串?dāng)_噪聲等成了突出的問(wèn)題,當(dāng)工藝需求線寬小于65nm時(shí),必須采用低介電常數(shù)Lon-k層解決以上問(wèn)題,由于難以使用普通的金剛石磨輪片進(jìn)行切割加工,所以有時(shí)無(wú)法達(dá)到電子元件廠家所需求的加工標(biāo)準(zhǔn)。為此,蘇州鐳明激光科技有限公司的工程師開(kāi)發(fā)了可解決這種問(wèn)題的加工應(yīng)用技術(shù)。

產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)

01. 雙切割光路

02. 切割寬度8-70μm持續(xù)可變

03. 自主設(shè)計(jì)光學(xué)系統(tǒng)

04. 高產(chǎn)能高穩(wěn)定性

產(chǎn)品參數(shù)

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效果圖

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